MFC使用須知
1、注意閱讀產(chǎn)品說明書及有關資料
2、注意系統(tǒng)設計
用戶購買MFM/MFC后,往往要組建一個系統(tǒng).建議在系統(tǒng)設計時,不要僅僅考慮功能的實現(xiàn),還要考慮系統(tǒng)的可靠性、安全性、易操作性、易維護性、 易擴充性等因素。 以下給出幾點具體建議:
A.對于反應系統(tǒng),建議在MFC的出氣端加裝單向閥,以防止異常情況下反應物倒流損壞MFC.
B.對于高壓系統(tǒng),應在MFC的下游加裝背壓閥(或其它節(jié)流裝置)及壓力表,以便于保證MFC的工作壓差。
C.注意加裝過濾器,以凈化氣源,延長MFM/MFC的使用壽命.
D.對于硅烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體,應特別注意系統(tǒng)的密閉性(檢漏時不要忽視減壓器),必要時設計吹洗旁路,隨時進行氮氣吹洗或正壓保持。
E.有高頻源的系統(tǒng)應注意屏蔽并特別注意處理好接地問題,例如采用單點接地.
F.對于高真空系統(tǒng), 注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。
G.MFM/MFC 的安裝位置應易于裝卸,檢測,調(diào)零,并安全可靠.
H.對可靠性要求*的系統(tǒng),應注意冗余設計。
3、注意正確使用操作
對于比較復雜的系統(tǒng)或使用特殊氣體的系統(tǒng),應當建立自己的操作規(guī)程。
4、注意輕拿輕放妥善保管
MFM/MFC非常精密, 應避免受到撞擊和振動。 產(chǎn)品不用時注意放在較好的環(huán)境中妥善保管.
5、注意定期標定
原則上應當定期標定。
6、注意使用氣體與流量計的密封材料相適應
我廠生產(chǎn)的流量計通常采用的密封材料是氟橡膠,能適合大多數(shù)氣體的使用,包括HCL這樣的強腐蝕性氣體。但對于氨氣,必須使用耐氨橡膠;對于有機溶劑類氣體,如丙酮、甲苯等,必須使用硅橡膠;對于使用三氯化硼、三溴化硼等強腐蝕性介質(zhì),必須使用四氟密封或金屬密封的流量計。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。
7、注意保證MFC的工作壓差
即保證MFC 進氣端和出氣端的壓力差在其指標范圍之內(nèi)。 常壓系統(tǒng)好保證, 一般只要使用減壓器即可;高壓系統(tǒng)中一般要通過減壓器和背壓閥的結合使用來保證。
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